平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较,两者之间的线值距离即为平面度误差值;或通过测量实际表面上若干点的相对高度差,再换算以线值表示的平面度误差值。
测量原理:数据采集仪可从百分表中实时读取数据,并进行平面度误差的计算与分析,平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中,完全不需要人工去计算繁琐的数据,可以大大提高测量的准确率。
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