真空泵抽气速率为真空室容积乘以达到要求真空度所需时间乘以初始真空度,真空泵抽速的计算仅是理论计算结果,还有若干变量因素未考虑进去,如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等,实际上还应当将安全系数考虑在内,所以在选择的时候应该适当的增加点余量以保证其使用范围更广泛。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度,概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围,因此为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置,选择真空系统时应考虑确定工作真空范围,首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度,因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定。